Æä»çÀÇ °øÀå¿¡ Ç¥Á¦ÀÇ °Ç °ü·Ã ½Ã°ø¿¡ ´ëÇÑ °ßÀû ¹®ÀÇÂ÷ ¸ÞÀÏ µå¸³´Ï´Ù
°øÀåÀº ¾à 250Æò ÀÌ¸ç ¼³Ä¡ ÇÏ·Á°í ÇÏ´Â ³»¿ëÀº Çϱâ¿Í °°½À´Ï´Ù
1. ESD Gate
2. Air Shower (6~8Àκνº)
3. ¹Ù´Ú Á¦Àü¸ÞÆ®
4. ÇöÀå ¿Â½Àµµ °ü¸® (Ç׿ÂÇ×½À±â ¶Ç´Â ¾ÆÅ°¹Ì½ºÆ®)
-> µÑÁß¿¡ ¾î¶²Á¦Ç°À¸·Î ¼±ÅÃÀÌ µÇ´ø ¼Ò¸ðǰ °ü·Ã ³»¿ë ¹×
¼Ò¸ðǰ ±³Ã¼ ÁÖ±â
¡Ø °ßÀû¼ ¹ßÇàÀÌ °¡´É ÇÏ½Ã¸é °ßÀû¼ ¹ßÇà ºÎŹ µå¸³´Ï´Ù
(Á¤È®ÇÑ ³»¿ëÀº ÇöÀåÀ» º¸¼Å¾ß °ÚÁö¸¸ ±âȹ¾È Á¦ÀÛ¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ´ë·«ÀûÀÎ °ßÀû¸¸
¸ÕÀú ºÎŹ µå¸³´Ï´Ù)