Á¦¸ñ | Å©¸°·ë¹æ½Ä | |||||||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
ÀÛ¼ºÀÚ | °ü¸®ÀÚ | |||||||||||||||||||
Á¶È¸ | 653 | |||||||||||||||||||
ÀÛ¼ºÀÏ | 2018-02-26 | |||||||||||||||||||
³»¿ë | Å©¸°·ë¹æ½ÄÅ©¸°·ëÀÇ ¹æ½ÄÀº ¿øÄ¢ÀûÀ¸·Î´Â ½Ç³»ÀÇ ±â·ù¿¡ µû¶ó ºñÃþ·ù(Non laminar air flow)¹æ½Ä°ú ¼±ÇüÃþ·ù(Laminar air flow)¹æ½ÄÀ¸·Î ³ª´«´Ù. ´Ù½Ã ±× °ø¹ý¿¡ ÀÇÇÏ¿©, ÇöÀå ½Ã°øÀÇ Ç×±¸ÀûÀÎ ½Ã¼³ÀÎ ÃàÁ¶Çü, °øÀå Á¶¸³¿¡ ÀÇÇÏ¿© ÇÁ·¹ÇÏÇÁÇü, À̵¿ °¡´ÉÇÑ À¯´ÖÆ®ÇüÀ¸·Î ³ª´ ¼ö ÀÖ´Ù. ¹æ½ÄÀÇ ¼±Á¤¿¡ À־ ¿ä±¸µÇ´Â ûÁ¤µµ, ¿îÀü°ü¸®, ¼³ºñºñµîÀÇ °ËÅä°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ÃÖ±ÙÀÇ °æÇâÀ¸·Î¼´Â »ó±â¹æ½ÄÀ» Àû´çÈ÷ ¼·Î ¸ÂÃá °ÍÀ» ä¿ëµÇ´Â ÀÏÀÌ ¸¹´Ù. (¿¹:Clean bench, Clean boothµî) ºñÃþ·ù ¹æ½ÄºñÃþ·ù ¹æ½ÄÀÇ Å©¸°·ëÀº ³·ù¹æ½ÄÀ̶ó°íµµ ºÒ·Á Áö´Â°ÍÀ¸·Î¼ ÀϹÝÀûÀÎ °øÁ¶¼³ºñ¿¡ HEPA filter¸¦ »ç¿ëÇÏ¹Ç ·Î¼ ûÁ¤°ø°£À» ¾òÀ»¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ ¹æ½ÄÀº ½Ç³»ÀÇ ±â·ù°¡ Èð¾îÁ® ¼Ò¿ëµ¹À̰¡ ¹ß»ýÇÏ¿© ½Ç³»¿¡¼ ¹ß»ýÇÑ ¹Ì¸³ÀÚ´Â °ø±âÁßÀ¸·Î ³¯·Á ¿Ã¶ó°¡¼ Èñ¼®µÇ¾î ¹èÃâµÇ°Ô µÈ´Ù. ±× ¶§¹®¿¡ ³ôÀº ûÁ¤µµ¸¦ À¯ÁöÇÏ´Â °ÍÀº ¾î·Æ°Ô µÇ¾î ±× ûÁ¤µµ´Â ¹Ì±¹¿¬¹æ 209B ¿¡¼ ¸»ÇÏ´Â Class 10,000-100,000À¸·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù. ¼öÁ÷Ãþ·ù¹æ½Ä¼öÁ÷Ãþ·ù ¹æ½ÄÀº õÁ¤ Àü¸é¿¡ ºÎÄ¢½ÃŲ HEPA filterÃþÀ¸·ÎºÎÅÍ ¸¶·çÀÇ °ÝÀÚ¸éÀ» ÅëÇÏ¿© ûÁ¤°ø±â¸¦ ¼öÁ÷À¸·Î Èê·¯º¸³»´Â °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ ¹æ½ÄÀº ½Ç³»¿¡¼ ¹ß»ýÇÑ ¹Ì¸³ÀÚ´Â ¹Ù·Î ÇÏ·ù¿¡ À̵¿ÇÏ¿© ½Ç³»·Î ¹èÃâµÇ±â ¶§¹®¿¡ ºñÃþ·ù ¹æ½Ä°ú °°ÀÌ ½Ç³»¿¡ ä·ù, ÃàÀûµÇ´Â ÀÏÀº ¾ø´Ù. õÁ¤¸éÀÇ Á¶¸í±â±¸ ¹× ½Ç³»ÀÇ ±â±¸µî ¶§¹®¿¡ ¿ÏÀüÇÑ Ãþ·ù »óŶó°í´Â ¸»ÇÒ ¼ö ¾øÁö¸¸ ¹Ì¸³ÀÚ¸¦ Á¦°Å Çϴµ¥´Â ´ë´ÜÈ÷ À¯È¿ÇÑ ¹æ¹ýÀ̸ç, Å©¶ó½º 100À» À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. õÁ¤¸é¿¡¼ÀÇ ºÐÃâÇϴ dz¼ÓÀº 0.5m/s·Î Çϸç ȯ±âȸ¼ö´Â 200-300ȸ/H ÀÌ»óÀ¸·Î µÈ´Ù. ±× ¶§¹®¿¡ Return °ø±â ÀÇ ÀϺθ¦ °ø±â Á¶È±â¿¡ µÇµ¹·Á °¡±ÞÀû ¸¹Àº °ø±â¸¦ ¼øÈ¯½ÃÄÑ °Ç¼³ºñÀÇ Àý°¨À» µµ¸ðÇÏ´Â ÀÏÀÌ ¸¹´Ù. ¼öÆòÃþ·ù ¹æ½Ä¼öÆòÃþ·ù ¹æ½ÄÀº º®¸é¿¡ ºÙÀÎ HEPA filterÃþÀ¸·ÎºÎÅÍ ¹Ý´ëÃøÀÇ º®¸éÀ» ÇâÇÏ¿© ûÁ¤ °ø±â¸¦ ¼öÆòÀ¸·Î È帣°Ô ÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. ¼öÆòÃþ·ù ¹æ½Ä¿¡¼´Â HEPA filterÃþÀÇ ¹Ù·Î ÇÏ·ùÀÇ ÀÏÂ÷ÀÛ¾÷ À§Ä¡¿¡¼ Class100ÀÇ Ã»Á¤µµ°¡ ¾ò¾î Áú ¼ö ÀÖÁö¸¸ ÇÏ·ù¿¡ °¥¼ö·Ï »ó·ù¿¡¼ ¹ß»ýÇÑ ¿À¿°¹°ÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î °í³óµµ°¡ µÇ´Â °æ¿ì°¡ ÀÖ´Ù. º®¸é¿¡¼ÀÇ ºÐÃâÇϴ dz¼ÓÀº 0.5m/s·Î Çϸç ȯ±âȸ¼ö´Â 200-300ȸ/H ÀÌ»óÀ¸·Î µÈ´Ù. ±× ¶§¹®¿¡ ¼öÁ÷Ãþ·ù ¹æ½Ä°ú °°ÀÌ Å©¸°·ë ³»ºÎÀÇ °ø±â¸¦ ¼øÈ¯½ÃŰ´Â ¹æ½ÄÀÌ ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÈ´Ù. º¯¿ë ¹æ½Äº¯¿ë ¹æ½ÄÀº °æÁ¦ÀûÀÎ ºñÃþ·ù ¹æ½Ä°ú ³ôÀº ûÁ¤µµ¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Â Ãþ·ù ¹æ½ÄÀ» ÀýÃæÇÑ ¹æ½ÄÀÌ´Ù. À̰ÍÀº »ý»êȰµ¿¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ °ø°£¸¸À» ³ôÀº ûÁ¤µµ¸¦ À¯ÁöÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ºñÃþ·ù¹æ½ÄÀÇ Å©¸°·ë¿¡ Filter unit¿Í Clean bench¸¦ ¿¬¼ÓÀûÀ¸·Î ÀåÄ¡ÇÏ¿© ±¹ºÎÀûÀ¸·Î Ãþ·ù»óÅ·ΠÇÏ¿© ³ôÀº ûÁ¤µµ¸¦ ¾ò´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù. ÀÛ¾÷´ë À§¿¡¼´Â Class 100ÀÌÁö¸¸ ±âŸÀÇ °ø°£¿¡¼´Â Class 10,000Á¤µµ°¡ Àû´çÇÑ °ÍÀ¸·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù °¢ ¹æ½ÄÀÇ ÀåÁ¡,´ÜÁ¡
|