Clean Room의 오염원으로서 사람은 중요한 문제가 된다. 사람의 관리·운영은 심리 사항을 병행해서 고려하지 않으면 안된다.

Clean Room 요원은 크게 전문가와 작업자의 2가지로 분류할 수 있다.

• 전문가는 경영자 및 생산 공정 기술에 관련된 Engineer, Clean Room을 운영 관리하는 설비 Engineer가 여기에 속하며,
• 오염에 대한 광범위한 지식 및 풍부한 경험을 갖추고 있어야 하며,
• Clean Room에서 생산되고 있는 제품이 요구하고 있는 기능을 만족할 수 있도록 생산하여야 하며,
• 제품, Clean Room, 입실자(작업자)의 3가지를 관리하는 것에 대한 책임을 질 수 있어야하며, 작업자 는 생산에 관련된 인원 및 Clean Room 내의 생산 장비의 보수 및 생산 장비로 공급되는 Utility Hook-up 공사 등이 여기에 속하며, 책임자(경영자)·미생물학자·응용 심리학자 등의 권고에 의하여 다음과 같은 정신적, 육체적 특성을 고려하여 선정한다

1) 정신적 특성

• ① 감정적으로 안정되고 충동적이 아니며 신경질적이 아닌 자
• ② 지나치게 활발하지 않고 보통인 자
• ③ 주의 깊고 참을성이 강한 자
• ④ 정리정돈을 잘 하고 자기 주변을 깨끗이 하는 자
• ⑤ 항시 건강에 유의하는 자

2) 육체적 특징

(다음의 각호에 해당하는 체질을 지닌 자는 작업자 선정에서 제외)

• ① 피부의 각질현상이 심하고 햇볕에 그을림, 습진 상처가 있는 자(심한 자)
• ② 화학섬유에 대하여 알레르기 체질을 가진 자
• ③ 청정실에서 사용하는 용재에 대하여 알레르기 체질을 가진 자
• ④ 손에 지방분이 많은 자
• ⑤ 코에 분비물이 많은 자
• ⑥ 감기에 들어서 기침이나 재채기를 하는 자
• ⑦ 보통사람 이상으로 피부에 각질이 일어나거나, 비듬, 머리카락이 많이 빠지는 자
• ⑧ 머리를 긁거나 문지르는 버릇이 있는 자
• ⑨ 화장 및 매니큐어를 칠한 자 (기초 화장 제외)
• ⑩ 심한 신경증 또는 공포증이 있는 자

또한 Clean Room에서의 기류의 유동 및 오염 발생의 방지를 위해서는 Clean Room내에서의 인원은 다음과 같은 사항에 주의하지 않으면 안된다.

• ① Clean Room내에서의 동작은 조용하게 소정의 작업에 세심한 주의를 기울여서 행해여야 한다.
• ② Clean Room내에서는 발을 끌면서 걷거나 팔을 흔들거나 불필요한 동작, 이동을해서는 안된다.
• ③ 담배를 피우거나 음식물을 먹어서는 안된다.
• ④ 장갑을 낀 손과 방진복과의 사이에 피부를 노출시켜서는 안된다.
• ⑤ Clean Room에서는 방진복의 지퍼를 열어서는 안된다.
• ⑥ 모든 작업은 깨끗한 작업대에서 행한다.
• ⑦ 수동공구, 기구, 필기구류는 전용품을 사용하며 사용하지 않을 시는 캐비넷트 또는 소정의 위치에 깨끗하게 커버를 해서 보관한다.
• ⑧ 손을 자주 씻는다.

Clean Room내의 생산 장비 및 시설은 다종 다양하게 되어 있으며, 이것으로도 오염원이 될 가능성이 있으므로 주의를 요할 필요가 있다. 특히 생산장비로 공급되며 Wafer와 직접 접촉하는 각종의 Utility 설비 및 무진복, 무진화 보관대, 의복 Locker, 착의대, Air Shower, Pass Box 등의 Clean Room으로의 오염 물질반입을 줄일 수 있는 것과 테이블, 의자, 필기도구, 운반 대차, 조명 기기등 생산을 위해 필요 한 장치, 비품류 등도 여러 형태의 오염원이 된다. 따라서 Clean Room 전문가는 정상적인 공기 흐름 형태를 유지시키기 위하여, 사전에 각종 장치, 설비 및 비품 등을 조정하여야 하며, 수시로 난류를 일으킬 수 있는 장치, 비품류가 Clean Room에 있는가를 항상 점검하여 작업상 필요치 않는 장치, 비품 류는 최소화 할 필요가 있다.

Clean Room내에 반입을 금하는 물품은

• ① 규정의 청정화 세정 과정을 거치지 않는 재료, 비품, 측정기 등의 모든 물품
• ② Clean Paper를 제외한 종이류
• ③ 필기용 연필, 지우개, 펜, 잉크, 만년필 등 (규정된 볼펜만 사용)
• ④ 다음의 표기하는 작업자의 개인 소지품
  
  - 담배, 성냥, 라이터류
  - 음식물, 껌류
  - 보석, 장식물, 화장품(금속성 반지 특히 금반지는 절대 금지함)
  - 수첩 및 기타 개인 소지품

다음은 Clean Room내에서의 자재 운송 방법에 대해서는 설명한다.

• ① Clean Room으로 반입되는 모든 기재, 즉 부품기구, 설비 재료 등은 청정화 하지 않으면 안된다.
• ② 청정화 방법은 오염물의 종류, 청정화 하여야 할 물품의 형태 구조, 재료, 요구되는 청정도 등에 의해 해당 Clean Room의 전문가가 결정한다.
• ③ Clean Room에 반입되는 설비 등 대형물품은 처음부터 일반 환경의 오염 구역에서 진공 소제기로 초기 청정화를 한 뒤 청정화는 준 청정실에서 Clean Room용 진공청소기로 닦아 내거나 Air Shower를 통하여 필요한 청정화를 이룬다.
• ④ Clean Room에서 사용하는 모든 소형물품은 준 청정실에서 작업자가 전문가의 지시에 따라 Clean Room 반입 전 닦아내고 초음파 세척기 또는 Air Shower로 청정화하여 청정화 된 운반 상자에 넣어서 반입한다.
• ⑤ Clean Room내에서 다시 정밀한 청정화를 행할 필요가 있는 경우는 Clean Room에서 정밀 청정용의 설비를 한다. 이 설비에 대해서는 적절한 국소배기를 행한다.
• ⑥ Clean Room 설비에 반입하는 기재 예비품은 최소한으로 한다.

Clean Room의 의복관리는 다음과 같이 한다.

• ① 방진복은 각 작업자에게 잘 맞는 것이어야 한다.
• ② Clean Room 전문가 (관리자 및 경영자)는 모든 청정실의 방진복에 대하여 사용해도 좋은 지의 여부(내구성, 전도성, 기능 등)를 확인하여야 한다.(검수)
• ③ 방진복이 새 것일 때는 사용 전 세탁을 한다.
• ④ 세탁이 끝난 의복은 Sample에 의하여 별도 규정한 내로 검사를 실시한다.(먼지, 오염 등 검사) 불합격 시에는 재 세탁한다.
• ⑤ 무진복은 사용하지 않을 때는 오염 물품과 접촉하거나 오염물이 부착될 수 있는 환경이어 서는 안된다.(모자, 마스크, 방진화 등)
• ⑥ 방진복 및 방진화(모자, 마스크 포함)는 정해진 기준에 따라 교환 및 세탁한다.
• ⑦ (직접)작업자에게 최소 2벌의 방진복 및 방진모를 지급한다.
• ⑧ 방진복 및 방진모의 부착물은(이름표 및 마크)먼지 및 오염을 유발하지 않는 재질로 한다.

진공청소기

• ① 이동식 진공 청소기는 절대 사용을 금지한다.
• ② 소제 진공 System을 이용하여 Inlet Valve에 흡입용 Hose를 연결하여 오염 물질을 제거한다.

세척 관련 도구

• ① 발진성이 적은 Clean Room용의 스폰지나 우레탄 폼 스폰지가 적당하다. (Clean Paper 사용 가능)
• ② 닦아내는데 사용하는 직포로서 섬유를 사용할 때는 오염물을 통과시키지 않는 폴리에칠렌 또는 나일론 포로 양면을 싸서 봉합하고 평평히 하기 위해 누벼야 한다.
• ③ 청정수 기타 청정용의 액체를 위한 물통은 스텐레스제 또는 고급 플라스틱으로서 용량 10ℓ 정도의 것이 적당하다.
• ④ 높은 것을 닦아내기 위한 것이 필요하면 알미늄제 Clean Room 전용의 사다리를 사용한다.

청소용 액체(물)

• ① 보통의 수돗물에는 고체형 미립자, 유기물, 광물질 등을 함유하고 있기 때문에 Clean Room 청소용으로 사용할 수 없다.
• ② 청정용으로는 Filter로 여과한 물이나 D.I Water를 사용한다

청정도 관리의 기본은

• ① 외부로부터의 발진원의 침입 금지
• ② Room내에서의 발진원의 방지
• ③ 발생된 발진원의 신속한 처리

이며, ①은 사람, 비품의 입실 조건 및 관리의 문제, ②는 실제 작업조건 및 공정 관리와 관련된 문제, ③은 실내에서의 청소 등과 관련된 문제이다.

표 1.1은 이러한 것에 대한 대책의 기본적 고려 사항이다.

표 1.1 Clean Room의 청정도 관리