크린룸에서 제거해야할 먼지의 크기는 사람의 눈에 보이지 않는 아주 작은 미립자를 대상으로 하고 있습니다. 사람이 육안으로 확인 할 수 있는 입자의 크기는 10㎛ 이상이며 이러한 먼지는 크린룸에서 제거 하기에는 너무 크기 때문에 공조기에서 제거되어야 합니다.크린룸에서 제어 대상이 되는 입자의 크기는 1㎛ 이하의 Submicron 입자를 대상으로 하고 있습니다. FED(미국연방규격)에서 규정하고 있는 청정도의 대상 입자는 0.5㎛을 표준으로 규정하고 있습니다. 입경 0.5㎛ 정도의 크기는 Smoke, Fume, 담배연기 등이 해당되며 이 미립자들은 응집되어 있을 때에는 육안으로도 확인할 수 있지만 개별로 존재하는 경우에는 육안으로 확인할 수 없습니다.

이처럼 크린룸에서는 현미경으로만 확인 할 수 있는 먼지를 대상으로 하고 있는 것이 특징입니다. 크린룸에서 사용하는 Hepa Filter는 0.3㎛ 이상의 미립자를 99.97% 이상의 포집 효율로 제거할 수 있습니다. 또한 최근 반도체 산업의 수퍼 크린룸에 적용되고 있는 Ulpa Filter는 0.1㎛의 미립자에 대해 99.999%이상의 높은 포집효율을 가지기 때문에 크린룸으로 유입되는 공기중의 먼지를 거의 제로에 가까운 상태로 유지할 수 있습니다.