크린룸 규격
크린룸에 관계있는 규격은 KS, JIS규격이 있습니다만 ICR(공업용크린룸)에는 미국연방규격(U.S. Fed. Std. 209D)과 BCR에는(바이오크린룸) 미국항공우주국규격(NASA NHB 5340.2)이 일반적으로 사용되고 있습니다.
Fed Std. 209E의 개요
연방규격 209D 요지 *입자수 10개/ft³(0.35개/L)이하의 입자농도는 샘플량이 많지 않는한 신뢰성이 낮습니다.
| Class 표시 |
0.1㎛ |
0.2㎛ |
0.3㎛ |
0.5㎛ |
5㎛ |
||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Miter 법 |
영국 단위 |
(㎥) |
(ft³) |
(㎥) |
(ft³) |
(㎥) |
(ft³) |
(㎥) |
(ft³) |
(㎥) |
(ft³) |
| M1 |
- | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10.0 | 0.283 | - | - |
| M1.5 |
1 | 1,240 | 35.0 | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | - | - |
| M2 | - | 3,500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | - | - |
| M2.5 | 10 | 12,400 | 350 | 2,650 | 75.0 | 1,060 | 30.0 | 353 | 10.0 | - | - |
| M3 | - | 35,000 | 991 | 7,570 | 214 | 3,090 | 87.5 | 1,000 | 28.3 | - | - |
| M3.5 | 100 | - | - | 26,500 | 750 | 10,600 | 300 | 3,530 | 100 | - | - |
| M4 | - | - | - | 75,700 | 2,140 | 30,900 | 875 | 10,000 | 283 | - | - |
| M4.5 | 1,000 | - | - | - | - | - | - | 35,300 | 1,000 | 247 | 7.00 |
| M5 | - | - | - | - | - | - | - | 100,000 | 2,830 | 618 | 17.5 |
| M5.5 | 10,000 | - | - | - | - | - | - | 353,000 | 10,000 | 2,470 | 70.0 |
| M6 | - | - | - | - | - | - | - | 1,000,000 | 28,300 | 6,180 | 175 |
| M6.5 | 100,000 | - | - | - | - | - | - | 3,530,000 | 100,000 | 24,700 | 700 |
| M7 | - | - | - | - | - | - | - | 10,000,000 | 283,000 | 61,800 | 1,750 |
NASA NHB 53420.2의 개요
미국항공우주국 NASA규격(NHB 5340.2)
| 바이오 클린룸 Class |
미 립 자 | 세 균 | ||
|---|---|---|---|---|
| 입 경 ( ㎛ ) |
누적입자수 개/ ft³ (개/ℓ) |
부 유 량 개/ ft³ (개/ℓ) |
침 강 량 개/ ft³ (개/ℓ) |
|
| 100 | ≥ 0.5 | ≤100(≤3.5) | ≤0.1(0.0035) | 1,200(12,900) |
| 10,000 | ≥ 0.5 | ≤10,000(≤350) | ≤0.5(9.9176) | 6,000(64,600) |
| ≥ 5.0 | ≤65(≤2.3) | |||
| 100,000 | ≥ 0.5 | ≤100,000(≤3500) | ≤2.5(0.0884) | 30,000(323,000) |
| ≥ 5.0 | ≤700(≤25) | |||
JIS B9920요지
청정도 Class의 상한농도 (개/m³)
| 입경 ㎛ |
청정도 Class | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Class1 | Class2 | Class3 | Class4 | Class5 | Class6 | Class7 | Class8 | |
| 0.1 | 10 ¹ | 10 ² | 10 ³ | 10 ⁴ | 105 | 106 | 107 | 108 |
| 0.2 | 2 | 24 | 236 | 2,360 | 23,600 | - | - | - |
| 0.3 | 1 | 10 | 101 | 1010 | 10100 | 101,000 | 1,010,000 | 10,100,000 |
| 0.5 | (0.35) | (3.5) | 35 | 350 | 3,500 | 35,000 | 350,000 | 3,500,000 |
| 5.0 | - | - | - | - | - | 29 | 2,900 | 29,000 |
| 입경범위 | 0.1 ~0.3 | 0.1~0.5 | 0.1~0.5 | 0.3~5.0 | ||||
미국연방규격
KS 규격